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自动椭圆偏振测厚仪
发布时间:2020-12-25浏览次数:1356返回列表
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定波长精度高。 仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐,,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。 ,指标: 测量范围:薄膜厚度范围1nm-4000nm;折射率范围:1-10 测量,示值:≤1nm 入 射 角:20°- 90°精度≤0.05° 偏振器方位角范围:0°- 180° 度盘刻度:每格1度 偏振器步进角:0.014°/步 仪器测量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm时) 测量膜厚和折射率重复性精度分别为:0.5nm和0.005 光学中心高度:80mm 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm 外形尺寸:680*390*310mm 主机重量:26kg 仪器成套性: 主机、电控系统、USB接口、配套软件(需配计算机)