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FT-3110系列全自动四探针测试仪
一.功能描述：
四点探针法，全自动化运行测量系统，PC软件采集和数据处理；参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻；可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择；可显示：方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.
FT-3110系列全自动四探针测试仪
二.适用范围
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.
FT-3110系列全自动四探针测试仪
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规格型号 |
FT-3110A |
FT-3110B（可扩展） |
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1.电阻 |
10^-5～2×10^5Ω |
10^-6～2×10^5Ω |
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2.方块电阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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3.电阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
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4.测试电流 |
0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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5.电流精度 |
±0.1% |
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6.电阻精度 |
≤0.3% |
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7.PC软件操作 |
PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等 |
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8.压力范围（选购） |
探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调 |
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9.探针 |
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3% 铜镀金或钨钢材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制 |
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10. 可测晶片尺寸 载台选购 |
选购:载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 其他规格可定制 |
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11.分析模式 |
单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
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12.重复性 |
单点重复性：重复性≤0.5% |
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13.防护功能 |
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
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14.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<600W |
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