公司名称:江苏天瑞仪器股份有限公司
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晶圆微区镀层厚度测厚仪通过X 射线荧光qiang度测量镀膜厚度的方法有检量线法和基本参数法(FP 法)。晶圆微区镀层厚度测厚仪可在不损坏样品的情况下进行非接触式测量。而且测量时间较短, 仅为3-20s。...
晶圆微区镀层厚度测厚仪是一款X射线荧光镀层测厚及成分分析仪。仪器采用多导毛细管X射线光学系统,对于微米级尺寸电子零件、芯片针脚、晶元微区等部件的镀层厚度和成分分析,能进行高效、准确的测量。
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晶圆微区镀层厚度测厚仪工作原理
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晶圆微区镀层厚度测厚仪性能特点
1、结合镀层行业微小样品的检测需求,研发适用于镀层检测的chao近光路系统,减少能量过程损耗。 搭载多导毛细管聚焦管,ji大的提升了仪器的检测性能,聚焦qiang度提升1000~10000倍,geng gao 的检测灵敏度和分析jing du 以及gao 计数率bao zheng 测试结果的准确性和wen ding 性。
2、全景+微区双相机设计,呈现quan高清广角视野,让样品观察geng quan mian ;微米级别分辨率,较好的man zu chao微产品的测试,让测试geng guang fan geng 便捷。
3、优质的多导毛细管技术,信号qiang度比金属准直系统高出几个数量级。
4、多规格可选的多导毛细管,较好的man zu 用户不同测试需求。
5、gao jing 度XYZ 轴移动测试平台,结合双激光点位定位系统,可实现在样品测试过程中的quan zi动化感受, 一键点击,测试geng省心。
晶圆微区镀层厚度测厚仪检测技术
晶圆微区镀层厚度测厚仪应用行业:
· 测量chao微小部件和结构,如:印制线路板、连接器或引线框架等;
· 分析chao薄镀层,如:厚度薄至2nm 的Au 镀层和≤30nm 的Pd 镀层;
· 测量电子和半导体行业中的功能性镀层;
· 分析复杂的多镀层系统;
·quan zi 动测量,如:用于质量kong zhi ling yu ;
· 符合ENIG/ENEPIG要求,符合DIN ISO 3497,ASTM B568,IPC4552和IPC4556 标准。
江苏天瑞仪器股份有限公司生产设备:台式ROHS检测仪(EDX1800B、EDX1800E、EDX4500H、EDX6000C等)应用欧盟ROHS指令应用电子电器、玩具、陶瓷、家电、高分子材料、纺织、皮革等,手持元素分析仪(Explorer3000、Explorer5000、Explorer7000、Explorer9000)应用:大件柜子、金属材料、矿业、土壤等,ROHS2.0分析仪器(GCMS6800、UPY-100、UPY-90、UPY-GCMS6800等)涉及有机物应用:邻苯二甲酸酯分析仪、双酚A,多环芳烃(PAHs),氯化苯和氯化甲苯、REACH等,镀层测厚仪(EDX600PLUS、EDX2000A、THICK800A、EDX-V、EDX-T等)涉及工业电镀、化镀、热镀和不规则样品等各种镀层:五金卫浴、磁性材料、电子电器、电镀行业、汽车制造等,电感耦合等离子体质谱仪ICP-MS2000应用:环境水资源食品、卫生防疫、商检、半导体、医药及生理分析(头发、全血、血清、尿样、全血铅等),波长色散X荧光光谱仪(WDX-200、WDX-400、WDX-4000)应用:建材(水泥、玻璃、陶瓷等)、钢铁、有色金属、化工、地质、石油、化工等行业,离子色谱仪TIC600应用环境监测、电子化工、食品安全、生物化学研究等方面的常量及微痕量离子分析。
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