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COL-2 硅晶圆片在显影后的250度高温烘烤箱

上海旦顺实业有限公司
会员指数: 企业认证:

价格:电议

所在地:上海

型号:COL-2

更新时间:2020-02-27

浏览次数:1274

公司地址:上海市沪亭路71弄35号

蒋鑫(女士)  

产品简介

本公司COL-系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高

公司简介


 上海旦顺实业有限公司(DONE-E)是一家集生产、销售、服务于一体的烘箱、环境试验箱、防潮箱产品及提供环境温湿度管理专业解决方案的优秀供应商。公司已建立以环境试验设备、烘箱、隧道炉等产品为主体的加工基地。

我公司拥有专业的技术人才,先进的生产设备,强大的生产型经济实体,有稳定的原材料供应商和充分的优质货源,为公司的长远发展提供了有利的保障。作为中国领先的环境管理系统提供商。公司专门为半导体、电子、医药、实验室提供各种环境管理解决方案。

为了确保公司产品继续保持其竞争优势, Done-e一直致力投资开发未来一代的先进技术。目前 Done-e 已着手开发未来 5 至 10 年都可适用的高性能技术。

Done-e 的产品系列

精密热风循环烘箱

真空烘箱

无尘烘箱

无氧烘箱

恒温恒湿试验箱

高低温交变试验箱

高低温冲击试验箱

防潮箱

温湿度自动监测系统

展开

产品说明


本公司COL-系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。
技术参数:
1. 百级无尘烤箱型号:COL-2
2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 温度范围:RT+60℃~300℃
4. 无尘烤箱洁净度:100级;
5. 温度均匀性: ±1.5%
6. 波 动 度:±0.5℃
7. 电 源:380V 50Hz 7.5KW;
8. 箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE),内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,保温材料:超细玻璃棉;
9. 空气循环装置:大容量轴流电机;
10. 加热方式:不锈钢电加热器;
11. 温度测量传感器:Pt100 铂电阻;
12. 控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃;
13. 超温保护仪表:于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;
14. 控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件;
15. 排 气 口:ф50;
16. 隔 板:2层,不锈钢方通,承重约30KG。
无尘烤箱热线:, ::蒋鑫,
网站:www.done-e.com.

本页产品地址:http://www.yi7.com/sell/show-2813457.html
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