ZL 半导体冷水机循环制冷机chiller

半导体冷水机循环制冷机chiller ，，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

成都中冷低温科技有限公司是一家创新型高科技企业，拥有一支专业知识扎实、实战经验丰富的年轻团队，主要成员来至于国内外知名学府或科研院所。公司专注于低温领域，提供常温到-200℃的全套温度解决方案，主要生产工业冷水机组、低温制冷机、深冷水汽捕集泵、高低温循环测试机、太空模拟仓，产品应用于化工、石油、生物、制药、真空镀膜、电子通讯、电池包测试、集成电路等领域。

半导体冷水机循环制冷机chiller 

主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精ZHUN控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

本设备采用变频控温方式，提高能效，减少能耗。-20℃下目标制冷量可以达到3600W，满足用户制冷需求。精QUE控温，控温稳定性达到±0.1℃，使用范围广，设定温度：-20℃~80℃。

半导体冷水机循环制冷机chiller 

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP (工艺机械抛光)，实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

温控精度（空载时）±0.05℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

占地面积小、保护装置

快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

运行稳定、准确控温

半导体冷水机循环制冷机chiller

可用选项

省空间、省配线、省配管、省工时、双变频型更节能。

可对应温度稳定性（空载时）±0.05℃。

循环液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去离子水(纯水)

冷却方式：水冷式

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