半导体冷水机低温冰水机Chiller

半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列，应用与半导体生产过程中及测试环节的温度控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

成都中冷低温科技有限公司是一家创新型高科技企业，拥有一支专业知识扎实、实战经验丰富的年轻团队，主要成员来至于国内外知名学府或科研院所。公司专注于低温领域，提供常温到-200℃的全套温度解决方案，主要生产工业冷水机组、低温制冷机、深冷水汽捕集泵、高低温循环测试机、太空模拟仓，产品应用于化工、石油、生物、制药、真空镀膜、电子通讯、电池包测试、集成电路等领域。

半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列

本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热效率高且可根据需求定制，控制精度可达±0.05℃，适用于温湿度控制良好的环境，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。

半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列
温控精度（空载时）±0.05℃

 触摸屏操作，人机交互界面

 连锁控制、可靠性高

 定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

 温度波动小

 占地面积小、保护装置

 快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产

 运行稳定、准确控温

半导体冷水机低温冰水机Chiller ZL系列

应用领域

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP （工艺机械抛光）实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

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